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LG디스플레이-연세대 협력 '포토리소그래피' 논문 네이처誌 조명

조은비 기자

goodrain@

기사입력 : 2020-02-13 13:52

"곡면 기판에 적용할 수 있는 신기술로 향후 OLED 도입 가능성 커"

[한국금융신문 조은비 기자]
LG디스플레이와 연세대학교가 3년 넘는 기간 동안 협력 연구하며 탄생시킨 '포토리소그래피'(Photolithography) 기술 논문이 세계적인 과학저널 '네이처 커뮤니케이션즈'(Nature Communications) 최신호에 게재되며 조명 받고 있다.

13일 LG디스플레이에 따르면 네이처 최신호에 실린 '유연하고 투명한 초미세 패턴 구현 포토리소그래피 기술' 연구 결실로 기존 LCD에만 적용 가능했던 '포토마스크'를 앞으로 OLED를 비롯한 다양한 디스플레이에 새롭게 적용할 수 있을 전망이다.

심우영 연세대학교 신소재공학과 교수. 제공=LG디스플레이

해당 연구를 진행한 연세대학교 신소재공학과 심우영 교수 연구팀은 딱딱한 형태인 기존 포토마스크의 한계를 극복하기 위해 유연하고 투명한 타입의 새로운 마스크와 이를 사용하는 공정을 개발했다고 밝혔다. 심 연구팀은 기존 디스플레이용 노광장비로도 현재 만들 수 있는 크기의 1/100 수준에 해당하는 수십 나노미터의 초미세 패턴을 구현할 수 있는 기술을 개발했다.

LG디스플레이는 "초미세 패턴으로 만드는 섬세한 전자회로는 고해상도 구현에 필수적"이라며 "유연한 재질의 마스크는 휘어진 기판에도 적용 가능해, 다양한 형태의 디스플레이 생산에 기여할 가능성이 기대된다"고 밝혔다. 논문 공동 저자인 장기석 LG디스플레이 박사는 "이번에 개발된 포토리소그래피 기술은 미래 디스플레이 기술 발전에 크게 기여할 수 있는 씨드(Seeds, 종자) 기술"이라고 밝혔다.

한편 해당 연구는 개발 기간이 3년에 달하고 총 25명의 연구원들이 참여한 대형 프로젝트다. 한국연구재단 미래소재디스커버리 연구사업, 선도연구센터 연구사업 및 기초과학연구원 지원도 함께 이뤄졌다. LG디스플레이는 2015년부터 연세대와 산학협력을 맺고 다양한 지원을 해왔다.

연구팀을 이끈 심우영 연세대 교수는 “이 연구는 빛의 회절한계를 극복할 수 있는 포토리소그래피 공정을 개발했다는 점에 의의가 있으며, 평면 뿐만 아니라 곡면 기판에도 적용이 가능해 향후 다양한 형태의 소자 공정에 적용할 수 있을 것으로 기대된다”고 연구 의의를 설명했다.



조은비 기자 goodrain@fntimes.com

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