삼성전자, 국산 불화수소 첫 투입...반도체 생산공정 일부 라인

[한국금융신문 오승혁 기자] 지난 3일 삼성전자가 최근 일부 반도체 공정에서 국산 불화수소를 투입하기 시작했다고 알렸다.

불화수소는 반도체 및 디스플레이 식각, 세정에 사용되는 핵심 소재로 한국무역협회의 조사 결과 5월 말 일본산 의존도가 43.9%에 달할 정도로 일본 의존도가 높은 소재이다.

이와 같은 국산 불화수소 투입은 이엔에프테크놀로지와 솔브레인의 대체품 조달, 공급을 통해 이뤄졌다. 각각 일본 모리타와 스텔리에서 고순도 불화수소를 수입, 정제한 뒤 이를 반도체 공정용 소재로 삼성전자에 납품하던 이들이 중국, 대만산 등으로 대체한 뒤 납품을 시작한 것이다.
이는 한일 무역 갈등으로 인한 일본 수출규제가 시작된 지 2개월여만에 이뤄진 일이다.

또한, 지난 1일 LG디스플레이가 국산 불화수소 안정화 테스트를 마치고 이달 중 일부 생산공정에 투입할 예정이라는 소식을 전한 것에 이어 SK하이닉스가 아직 대체 불화수소를 투입한 것은 아니지만, 생산 차질이 발생하지 않도록 막바지 테스트를 하고 있다고 밝혔다.

오승혁 기자 osh0407@fntimes.com