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주성엔지니어링, MO CVD 공정용 장비 美에 수출

송정훈

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기사입력 : 2001-05-07 11:15

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주성엔지니어링(대표 황철주)은 RF제품용 저온 캐퍼시터 공정(MIM)에 적용되는 탄탈륨옥사이드 유기금속화학증착장비(TaO MO-CVD)를 미국에 수출할 예정이다.

이와 관련 주성은 이 장비에 대한 주문서를 미국고객으로부터 접수하고, 양산검증을 거쳐 5월중에 출하할 계획이다.

모델명 `Eureka 2000`으로 명명된 이 제품은 대당 가격이 400만달러 이상의 고가로 5월 중순 경에 미국의 비메모리 반도체 생산업체에 공급할 예정이다.

주성엔지니어링의 관계자는 "이번 장비의 출하로 기존의 DRAM사업영역을 넘어서는 새로운 시장개척이 기대된다"고 말했다.



송정훈 기자 jhsong@fntimes.com

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