이재용 삼성전자 부회장, ASML 방문… 반도체 사업 협력 강화 논의

[한국금융신문=정은경 기자] 이재용닫기이재용기사 모아보기 삼성전자 부회장이 차세대 반도체 초격차를 이어나가기 위해 ASML을 찾아 반도체 협력 사업을 강화했다.

이재용 삼성전자 부회장은 13일(현지 시각) 네덜란드 에인트호번에 위치한 ASML 본사를 찾아 피터 버닝크 CEO와 마틴 반 덴 브링크 CTO 등을 만나 차세대 반도체 기술 개발을 위한 협력 강화 방안을 논의했다고 밝혔다. 이번 미팅에는 김기남닫기김기남기사 모아보기 삼성전자 DS부문장 부회장이 배석했다.

삼성전자에 따르면 이 부회장은 버닝크 CEO와 7나노 이하 최첨단 반도체 생산에 필수적인 EUV 장비 공급계획 및 운영 기술 고도화 방안, 인공지능(AI) 등 미래 반도체를 위한 차세대 제조기술 개발 협력, 코로나19 사태 장기화에 따른 시장 전망 및 포스트 코로나19 대응을 위한 미래 반도체 기술 전략 등에 대한 의견을 나눴다.
이 부회장은 ASML의 반도체 제조 장비 생산공장도 방문해 EUV 장비 생산 현황을 직접 살펴보기도 했다.

이재용 부회장은 지난 2016년 11월에도 삼성전자를 방문한 버닝크 CEO 등 ASML 경영진을 만나 차세대 반도체 미세 공정 기술에 관한 협력 방안을 논의한 바 있다. 지난해 2월에는 프랑스 파리에서 만나 반도체 산업에 대한 의견을 나누기도 했다.

이 부회장이 방문한 ASML은 삼성 시스템 반도체의 핵심 기술인 EUV 공정에 필요한 장비를 독점 공급하는 곳이다. 최근 TSMC 등 경쟁사들도 ASML에 장비 수주를 요청하고 있는 가운데, 반도체 사업 협력 강화를 위해 방문한 것으로 풀이된다.

삼성전자는 차세대 반도체 구현을 위해 EUV 기술이 필요하다고 판단해 2000년대부터 ASML과 초미세 반도체 공정 기술 및 장비 개발을 위해 협력해왔다. 2012년에는 ASML에 대한 전략적 지분 투자를 통해 파트너십을 강화했다.

EUV 노광 기술은 극자외선 광원을 사용해 웨이퍼에 반도체 회로를 새기는 기술로 기존 기술보다 세밀한 회로 구현이 가능하다. 이 기술은 인공지능(AI), 5G, 자율주행 등에 필요한 고성능·저전력·초소형 반도체를 만드는 데 필수적이다.

삼성전자와 ASML은 EUV 관련 기술적 난제 해결을 위해 초기부터 ▲EUV에 최적화된 첨단 반도체 소재 개발 ▲장비 생산성 향상 ▲성능 개선 등 다양한 분야에서 협력을 이어오고 있다.

삼성전자는 최근 시스템반도체에 이어 최첨단 메모리 반도체 분야까지 EUV의 활용 범위를 확대해 나가고 있다. 특히 파운드리(위탁생산) 사업이 빠르게 성장하면서 두 회사 간 협력 관계도 확대되고 있다.

이재용 부회장은 지난 1월 브라질, 5월 중국 방문에 이어 지난 9일 네덜란드를 찾으며 글로벌 현장 경영을 이어나가고 있다.

정은경 기자 ek7869@fntimes.com