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일본의 한국 반도체 규제, 타겟은 EUV 포토레지스트 - 대신證

장태민 기자

chang@

기사입력 : 2019-07-10 08:28

[한국금융신문 장태민 기자]


대신증권은 10일 "국가 안보 환경에 대한 일본의 수출 통제 타겟은 EUV 포토레지스트로 예상된다"고 밝혔다.

이수빈 연구원은 "포토레지스트(PR)는 노광공정에 사용되는 감광제"라며 "일본의 수출규제는 ArF 또는 KrF 포토레지스트가 아닌 가장 앞선 기술인 EUV 포토레지스트가 타겟이 될 것"이라고 전망했다.

EUV 포토레지스트는 일본의 JSR, Tokyo Ohka Kogyo, Shin-Etsu Chemical 등이 공급하고 있다.

이 연구원은 "EUV 기술은 삼성전자, SK하이닉스, TSMC, 인텔에서 도입 준비 중"이라고 설명했다.

그는 "국내 동진쎄미켐이 KrF와 ArF 포토레지스트 개발을 완료해 판매하고 있으나, EUV 레지스트는 개발 중으로 국산화까지는 수년의 시간이 필요할 것"이라고 예상했다.
그는 또 "전세계 불화수소 수요의 약 80%는 반도체 및 디스플레이 세정 공정에 사용되고 약 20%는 식각액으로 사용되고 있다"면서 일본의 Stella Chemifa, Daikin Industries, Morita Chemical Industries가 핵심 공급사라고 밝혔다.

그 외 대만의 Sunlit Chemical과 중국 Juhua가 반도체용 불화수소를 공급 중이라고 밝혔다.

그는 "SK머트리얼즈, 솔브레인, 이엔에프는 중국에서 순수 불화수소를 수입해 정제한 뒤 세정용 또는 식각액으로 가공한다"면서 "국내 반도체 제조사가 확보한 재고는 1~2개월로 추정되며, 단기적으로는 생산차질에 영향을 줄 수 있으나 중장기적으로 일본 공급업체 외로 선택할 수 있는 옵션이 존재한다"고 밝혔다.

이어 "불소폴리이미드는 OLED패널 PI필름에 사용되는 제품"이라며 "아직 시장규모가 작고 대체제가 존재하기 때문에 무역분쟁이 장기화된다고 하더라도 업계에 미치는 영향은 미미할 것"이라고 예상했다.
한편 일본이 7월 4일부터 시행하는 규제는 불화폴리이미드, 포토레지스트, 불화수소에 대한 개별수출 절차를 강화하는 것이다. 수출 거래를 할 때마다 공급사는 매번 거래내역과 상품에 대해 검증 및 승인절차를 걸쳐야 한다. 각 거래 건 별로 해당 상품이 1)실사용자에게 전달되고 2)사용하는지 여부, 3)국제적 평화와 안전을 해하는 목적으로 사용되지는 않는지 여부, 4)실사용자가 해당 상품을 적절하게 통제하고 관리할 수 있는지여부에 대한 심사가 진행되기 때문에 90일 정도 소요될 것으로 예상된다. 추가로 일본은 약 한달 간의 의견 수렴 절차를 걸쳐 한국을 수출 간소화 국가 대상리스트인 화이트리스트에서 제외할지 여부를 결정할 예정이다.

장태민 기자 chang@fntimes.com

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