도현우 NH투자증권 연구원은 “삼성전자가 현재 경기도 화성에 짓고 있는 극자외선(EUV) 라인에서는 시스템 반도체가 주로 생산될 계획”이라며 “2019년 수급 악화로 메모리 신규 캐파투자가 거의 없는 가운데 삼성전자의 시스템 반도체 투자가 반도체 장비업체에 도움이 될 것”이라고 말했다.
도 연구원은 “삼성전자에 이어 대만의 TSMC도 올해 공격적인 EUV 라인 투자를 계획 중”이라며 “반도체 업체 EUV 라인 투자 수혜 대부분은 해외 업체에 집중될 전망”이라고 내다봤다.
국내 장비업체에 대한 영향과 관련해서는 “EUV 장비는 기존 장비 대비 크고 높이가 높아서 약품을 강하게 쏘아야 한다”며 “화성 EUV 라인 건설로 인한 CDS 장비 수요가 증가하고 장비 대당 단가가 상승할 것”이라고 설명했다.
그러면서 “기존 ArF 노광 장비는 진공이 필요 없으나 EUV는 높은 정밀도가 요구되어 진공이 필요하다”며 “이는 진공펌프 업체들에 큰 수요 모멘텀이 될 수 있다”고 진단했다.
도 연구원은 “삼성전자 화성 EUV 라인에는 외산 진공펌프가 들어간다”며 “국내 업체는 차후 투자에서 가능성을 모색 중”이라고 말했다.
이어 “국내 CDS 장비업체로는 에스티아이와 한양이엔지, 진공펌프 업체로는 엘오티베큠이 있다”고 덧붙였다.
한아란 기자 aran@fntimes.com




















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