도현우 NH투자증권 연구원은 “삼성전자가 현재 경기도 화성에 짓고 있는 극자외선(EUV) 라인에서는 시스템 반도체가 주로 생산될 계획”이라며 “2019년 수급 악화로 메모리 신규 캐파투자가 거의 없는 가운데 삼성전자의 시스템 반도체 투자가 반도체 장비업체에 도움이 될 것”이라고 말했다.
도 연구원은 “삼성전자에 이어 대만의 TSMC도 올해 공격적인 EUV 라인 투자를 계획 중”이라며 “반도체 업체 EUV 라인 투자 수혜 대부분은 해외 업체에 집중될 전망”이라고 내다봤다.
국내 장비업체에 대한 영향과 관련해서는 “EUV 장비는 기존 장비 대비 크고 높이가 높아서 약품을 강하게 쏘아야 한다”며 “화성 EUV 라인 건설로 인한 CDS 장비 수요가 증가하고 장비 대당 단가가 상승할 것”이라고 설명했다.
그러면서 “기존 ArF 노광 장비는 진공이 필요 없으나 EUV는 높은 정밀도가 요구되어 진공이 필요하다”며 “이는 진공펌프 업체들에 큰 수요 모멘텀이 될 수 있다”고 진단했다.
도 연구원은 “삼성전자 화성 EUV 라인에는 외산 진공펌프가 들어간다”며 “국내 업체는 차후 투자에서 가능성을 모색 중”이라고 말했다.
이어 “국내 CDS 장비업체로는 에스티아이와 한양이엔지, 진공펌프 업체로는 엘오티베큠이 있다”고 덧붙였다.
한아란 기자 aran@fntimes.com

























![[DCM] SK · 미래에셋證, 주관실적 하위권 추락... KB와 최대 7배 差 [1월 리뷰③]](https://cfnimage.commutil.kr/phpwas/restmb_setimgmake.php?pp=006&w=69&h=45&m=5&simg=2026022410011906939141825007d12411124362.jpg&nmt=18)
![[DCM] 롯데지주, '수요예측 회피' 이미지...시장 신뢰 의문](https://cfnimage.commutil.kr/phpwas/restmb_setimgmake.php?pp=006&w=69&h=45&m=5&simg=2026022410094005731a837df6494123820583.jpg&nmt=18)
!["공모펀드 강자 뛰어든다" 액티브 ETF, 운용역량 진검승부…투자자보호 필수 ['완전한' 액티브 ETF 초읽기 (하)]](https://cfnimage.commutil.kr/phpwas/restmb_setimgmake.php?pp=006&w=69&h=45&m=5&simg=2026022323272009001179ad439071182357107.jpg&nmt=18)
![[그래픽 뉴스] 워킹맘이 바꾼 금융생활](https://cfnimage.commutil.kr/phpwas/restmb_setimgmake.php?pp=006&w=298&h=298&m=1&simg=202602021638156443de68fcbb3512411124362_0.jpg&nmt=18)
![[그래픽 뉴스] 매파·비둘기부터 올빼미·오리까지, 통화정책 성향 읽는 법](https://cfnimage.commutil.kr/phpwas/restmb_setimgmake.php?pp=006&w=298&h=298&m=1&simg=202601281456119025de68fcbb3512411124362_0.jpg&nmt=18)
![[그래픽 뉴스] 하이퍼 인플레이션, 왜 월급이 종잇조각이 될까?](https://cfnimage.commutil.kr/phpwas/restmb_setimgmake.php?pp=006&w=298&h=298&m=1&simg=202601141153149784de68fcbb3512411124362_0.jpg&nmt=18)
![[그래픽 뉴스] 주식·채권·코인까지 다 오른다, 에브리싱 랠리란 무엇일까?](https://cfnimage.commutil.kr/phpwas/restmb_setimgmake.php?pp=006&w=298&h=298&m=1&simg=202601071630263763de68fcbb3512411124362_0.jpg&nmt=18)
![[그래픽 뉴스] “이거 모르고 지나치면 손해입니다… 2025 연말정산 핵심 정리”](https://cfnimage.commutil.kr/phpwas/restmb_setimgmake.php?pp=006&w=298&h=298&m=1&simg=202601061649137526de68fcbb3512411124362_0.jpg&nmt=18)
![[AD] 현대차, 글로벌 안전평가 최고등급 달성 기념 EV 특별 프로모션](https://cfnimage.commutil.kr/phpwas/restmb_setimgmake.php?pp=006&w=89&h=45&m=1&simg=20260106160647050337492587736121125197123.jpg&nmt=18)
![[AD] 현대차 ‘모베드’, CES 2026 로보틱스 부문 최고혁신상 수상](https://cfnimage.commutil.kr/phpwas/restmb_setimgmake.php?pp=006&w=89&h=45&m=1&simg=20260105103413003717492587736121125197123.jpg&nmt=18)
![[AD] 기아 ‘PV5’, 최대 적재중량 1회 충전 693km 주행 기네스 신기록](https://cfnimage.commutil.kr/phpwas/restmb_setimgmake.php?pp=006&w=89&h=45&m=1&simg=20251105115215067287492587736121125197123.jpg&nmt=18)
![[카드뉴스] KT&G, 제조 부문 명장 선발, 기술 리더 중심 본원적 경쟁력 강화](https://cfnimage.commutil.kr/phpwas/restmb_setimgmake.php?pp=006&w=89&h=45&m=1&simg=202509241142445913de68fcbb3512411124362_0.png&nmt=18)
![[AD]‘황금연휴에 즐기세요’ 기아, ‘미리 추석 페스타’ 이벤트 실시](https://cfnimage.commutil.kr/phpwas/restmb_setimgmake.php?pp=006&w=89&h=45&m=1&simg=20250903093618029117492587736121166140186.jpg&nmt=18)



